MindkétVákuumszivattyú és kompresszora gáz feldolgozására szolgáló eszközök, de működési alapelveik és alkalmazási körük eltérő.
A vákuumszivattyú fő funkciója a gáz eltávolítása a reakciókamrából, hogy csökkentse a tartály nyomását az előre meghatározott vákuumfok elérése érdekében. A gázt a térből a szívó- és kipufogómechanizmuson keresztül extrahálják, hogy vákuumállapotot képezzenek. A vákuumszivattyúkat általában laboratóriumokban, gyártási és gyártási területeken használják. A ostyafabokban, maratási berendezésekben, lerakódási berendezésekben, EUV litográfiai berendezésekben, ionimplantációs berendezésekben, észlelési és jellemző berendezésekben stb.
A kompresszor funkciója a gáz belélegzése és az összenyomása, a gáz nyomásának növelése, a gázt kisebb térfogatra tömöríti, és növeli a gáz sűrűségét és nyomását. Munka alapelve az, hogy a gázt a kipufogószelepen keresztül tömörítse, majd a sűrített gázt gáztartályba vagy más berendezésbe tegye. A kompresszorokat általában a feldolgozási és gyártási mezőkhöz használják. A CDA -gázt, amelyről gyakran beszélünk, a kompresszor biztosítja. A CDA -t különféle automatizálási berendezések és szelepek vezérlésére használják. A félvezető gyártásához a CDA -nak nagyon tiszta és száraznak kell lennie. A kompresszor által végzett levegő kimenetének át kell mennie egy kifinomult szűrőrendszeren, hogy eltávolítsa az olaj, a nedvesség és más részecskéket annak biztosítása érdekében, hogy az ostya szennyeződjön.
Mik a kategóriákVákuumszivattyú és kompresszor?
A félvezető berendezésekben általában száraz szivattyúkat és molekuláris szivattyúkat használnak. A száraz szivattyú egy vákuumszivattyúra utal, amely nem használ folyadékot tömítő vagy hűtő közegként, elkerülve az olajgőzszennyezés problémáját. Általában a félvezető berendezések durva vákuumkivonására használják. A molekuláris szivattyúk rendkívül magas vákuumszintet érhetnek el. A száraz szivattyúkat és a molekuláris szivattyúkat gyakran használják a félvezető berendezésekben, hogy megfeleljenek a különböző vákuumszintek igényeinek.
A kompresszorokat dugattyúra, csavarra, centrifugális, forgó lapátú légkompresszorokra stb.
A vákuumszivattyú és a kompresszor különböző tervei és munkanézései miatt a vákuumszivattyúk általában nem helyettesíthetik a kompresszorokat. Noha a vákuumszivattyúk csökkenthetik a gázok nyomását és sűrűségét, nem tudják összenyomni a gázokat kisebb térfogatra és magasabb nyomásra. Ezen túlmenően, a vákuumszivattyúk korlátozott teljesítménye és működési jellemzői miatt, ezek a legjobban alkalmasak az alacsony sűrűségű gázok és az alacsony nyomású környezet kezelésére.
Ezért, ha a gázt kisebb térfogatra és nagyobb nyomásra kell tömöríteni, akkor kompresszort kell használni. Éppen ellenkezőleg, ha a gázt ki kell vonni, és vákuumállapot alakul ki, vákuumszivattyút kell használni.
Bár mindkettőVákuumszivattyú és kompresszorA gázok feldolgozásához használt eszközök, nagy különbségek vannak a tervezésben és a működés elvében. Noha a vákuumszivattyú csökkentheti a gáz nyomását és sűrűségét, nem tudja kicserélni a kompresszort, különösen akkor, ha a gázt kisebb térfogatra és nagyobb nyomásra kell sűríteni.
